Wafer AVI 560

Wafer AVI是一套精心研發設計的自動外觀檢查系統，整合光學及視覺專業技術，提供完善的解決方案，其穩定的模組化機構大幅縮減後勤維護時間，非常適合高品質低成本的檢測需求。

專利多角度LED光源，可獲得最佳瑕疵影像，廣泛應用於各式晶圓問題之檢測。獨特的檢測技術適用於晶圓製程，可有效檢測bump / pad刮傷、異色、遺失、偏移、變形、外物及切割碎裂等等。系統可與離線複檢站搭配使用，提升檢測產能。